Filtrácia

Spoločnosť Entegris poskytuje filtračné riešenia založené na rôznych technológiách médií a výkonnostných kritériách, ako aj analytické služby na zisťovanie kontaminácie v technologických prostrediach a analyzovanie/overovanie materiálov.

Filtrácia plynu

Technológie filtrov vyrobených z niklu, nehrdzavejúcej ocele a teflónu (Teflon®). Produkty na ultračistú filtráciu plynu od spoločnosti Entegris ponúkajú filtráciu častíc s veľkosťou 0,003 mikróna pre ultračisté plynové aplikácie. Plynové filtre Wafergard® umožňujú vyššiu priechodnosť technických plynov so znížením celkových rozmerov plynovej nádoby. Produkty na ultračistú filtráciu plynu od spoločnosti Entegris používajú všetci hlavní OEM výrobcovia polovodičov a zariadení v nástrojoch na leptanie, CVD, PVD a iónové implantácie, ako aj pri iných vysokovýkonných aplikáciách, ako napríklad vo fotovoltike, plochých panelových displejoch, médiách na ukladanie údajov a diódach HBLED (high brigtness light emitting diodes - diódy vyžarujúce svetlo s vysokým jasom), v oblasti prírodných vied alebo v lítium-iónových akumulátoroch. Spoločnosť Entegris zabudováva tieto plynové filtre do našich čističiek plynov s cieľom poskytnúť technické a prefukovacie plyny zbavené molekulárnej aj časticovej kontaminácie.

Filtrácia kvapalín

Riadenie kontaminácie technických kvapalín. Riadenie kontaminácie sa neustále vyvíja a prináša technologické pokroky a lepšiu výnosnosť vo výrobe polovodičov, plochých panelových displejov, médií na ukladanie údajov, fotovoltických článkov, lítium-iónových akumulátorov a v oblasti prírodných vied. Kaly na chemické mechanické leštenie (CMP), kyseliny, zásady, fotochémia či deionizovaná voda vyžadujú pokročilú filtráciu na odstránenie častíc spôsobujúcich vady a aglomerovanie pred dosiahnutím povrchu wafra alebo substrátu. Spoločnosť Entegris ponúka širokú škálu filtrov ako riešenie otázok riadenia kontaminácie, s ktorými sa naši zákazníci stretávajú.